000			00355nam a2200145Ia 4500
008			240417s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
020			_cRS 20053.55
040			_aSME
082			_a621.381 TIR, W.S.
100			_aTrimmer, William S.
245		0	_aMicromechanics and MEMS
260			_aNew York _bIEEE Press _c1997
300			_axv,701p.
942			_cBK
999			_c122576 _d122576